低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。
按照低溫介質(zhì)的供給方式，低溫泵分為三種類型：
小型制冷機(jī)低溫泵
閉循環(huán)小型制冷機(jī)低溫泵是由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機(jī)和壓縮機(jī)等部分組成。和流程低溫泵的最大區(qū)別是制冷機(jī)一、二級(jí)冷頭直接和輻射屏、冷板相連，在制冷機(jī)與壓縮機(jī)連接管路中流動(dòng)的是常溫、高(或低)壓氣體介質(zhì)，不存在低溫介質(zhì)的輸送問題，兼有流程低溫泵和貯槽式低溫泵的優(yōu)點(diǎn)，是目前比較理想的清潔超高真空泵。廣泛用于薄膜制備、微電子學(xué)技術(shù)、高能物理、小型環(huán)模設(shè)備以及其它各工業(yè)領(lǐng)域。
貯槽式低溫泵
低溫介質(zhì)(液氦)直接注入泵內(nèi)貯槽，使氣體冷凝達(dá)到抽氣目的。其優(yōu)點(diǎn)是泵的體積小、無振動(dòng)、無噪聲、操作簡(jiǎn)便，適用于大專院校及科研單位和高能加速器等大型真空工程。缺點(diǎn)是運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用高，每次加注低溫介質(zhì)的使用時(shí)間短，需長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的真空系統(tǒng)要定期補(bǔ)充工作介質(zhì)，并且受到低溫介質(zhì)供應(yīng)條件的限制。
流程低溫泵
泵中低溫板冷卻管和制冷膨脹機(jī)相聯(lián)接，低溫介質(zhì)(氣氦)通過外管路供給低溫泵，吸收低溫板熱量后再回到制冷壓縮機(jī)，形成封閉循環(huán)，這種低溫泵的體積龐大、管路復(fù)雜、管路冷損較大。優(yōu)點(diǎn)是制冷功率大，最適宜抽除大氣量或大型真空室，廣泛用于空間環(huán)模設(shè)備、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、火箭發(fā)動(dòng)機(jī)高空點(diǎn)火試驗(yàn)以及低壓空氣動(dòng)力學(xué)試驗(yàn)等。
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